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采编:南京家教网   来源:南京家教http://www.nanjingjiajiaow.com    点击:1268    发布日期:2013-06-20 21:08:10

激光测定硅单晶的晶向实验引言

       同一单晶不同晶面上的原子密度不同,因此在各个不同方向上所表现出的物理性质也不一样。例如,单晶硅(111)面上原子密度最大,在扩散中杂质沿[111] 方向扩散最慢,因而便于控制、容易获得均匀平整的结面,在硅器件生产中因此也常常要求取向为[111]的单晶。也有些器件,如MOS 器件目前大多采用(100)晶面,因为该晶面氧化成的SiO2 所具有的表面态比(111)、(110)晶向都小,利于开启电压的降低;同时,(100)面载流子迁移率较大,利于条跨导、增加速度。可见,在科研和生产中测定半导体单晶的晶向十必不可少的。


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